Alfa Laval - Wafer preparation

Wafer preparation

In der Elektronik ist ein Wafer eine dünne Scheibe aus Halbleitermaterial, wie z.B. ein Siliziumkristall, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen Mikrobauteilen verwendet wird. Wenn Si-Ingots mit Drahtsägen in Wafer geschnitten werden, ist es notwendig, die Schneideschlämme zu kühlen. Alfa Laval bietet Lösungen, die kompakt und zuverlässig sind und eine hohe Wärmeübertragungseffizienz bieten.

Slurry recovery 640x360

Der Wafer dient als Substrat für mikroelektronische Bauelemente, die in und über den Wafer gebaut werden, und durchläuft viele Mikrofabrikationsprozessschritte, wie Dotierung oder Ionenimplantation, Ätzen, Abscheidung verschiedener Materialien und photolithographische Strukturierung. Schließlich werden die einzelnen Mikroschaltungen getrennt (Dicing) und verpackt.

Geeignete Lösungen aus dem Alfa Laval Wärmetauscherprogramm sind gedichtete Plattenwärmetauscher, AlfaNova Ganz-Edelstahl-Wärmetauscher und gelötete Plattenwärmetauscher. Alle sind kompakt, zuverlässig und bieten eine hohe Wärmeübertragungseffizienz.